日前，全球光刻巨頭ASML（阿斯麥）正式澄清，EUV要進(jìn)口到中國大陸完全沒(méi)有任何問(wèn)題！2019年，中國大陸或將迎來(lái)首臺EUV光刻機。

眾所周知，芯片是電子產(chǎn)品所必不可少的組件，芯片制造商要想成功地制造出芯片來(lái)，必須用到光刻機。對芯片制造商來(lái)說(shuō)，光刻機就是核心的生產(chǎn)設備。

目前，全球僅有極少數的光刻機設備廠(chǎng)商能夠研制出高端光刻機，而荷蘭的ASML則擁有全球晶圓廠(chǎng)光刻機設備高達8成的市場(chǎng)份額，在干式曝光機、浸潤式光刻機，EUV（極紫外線(xiàn)光刻機）的市場(chǎng)幾乎處于獨霸地位，臺積電、三星、英特爾等國際半導體巨頭都是其客戶(hù)。

由于EUV光刻機的生產(chǎn)難度和成本都非常大，導致ASML的EUV全年出貨僅12臺，明年可望增加至20臺，現累積未出貨訂單約27臺，其中有5臺已被臺積電預訂，費款高達5.5億美元。

在國內，一直流傳著(zhù)一種聲音....受西方《瓦森納協(xié)議》的限制，中國只能買(mǎi)到ASML的中低端產(chǎn)品，出價(jià)再高，也無(wú)法購得ASML的高端設備。甚至還有人認為，臺積電、三星等在制程上之所以大幅領(lǐng)先中芯國際，主要是因為ASML最先進(jìn)的光刻機對大陸禁售。

那么，ASML的EUV光刻機真的對大陸禁售？到底是受產(chǎn)量限制，還是相傳受到國際條約《瓦森納協(xié)議》的制約？

近日，ASML中國區總裁金泳璇在接受媒體（DIGITIMES）采訪(fǎng)時(shí)正式澄清，ASML對大陸晶圓廠(chǎng)與國際客戶(hù)一視同仁，只要客戶(hù)下單，EUV要進(jìn)口到中國完全沒(méi)有任何問(wèn)題。在交期方面，所有客戶(hù)也都完全一致，從下單到正式交貨，均為21個(gè)月。

他還透露，目前已有大陸晶圓廠(chǎng)巨頭與ASML展開(kāi)7納米工藝制程的EUV訂單洽談，2019年大陸首臺EUV可望落地。

值得一提的是，中芯國際正好在今年3月宣誓進(jìn)軍7納米，還表示已和ASML達成合作。由此看來(lái)，ASML所說(shuō)的“大陸晶圓廠(chǎng)巨頭”應是中芯國際無(wú)疑了！

沒(méi)有EUV，大陸芯片制造死路一條

作為集成電路制造過(guò)程中最核心的設備，光刻機至關(guān)重要，芯片廠(chǎng)商想要提升工藝制程，沒(méi)有它萬(wàn)萬(wàn)不行，中國半導體工藝為啥提升不上去，光刻機被禁售是一個(gè)主要因素。

一般來(lái)說(shuō)，一家芯片代工廠(chǎng)，從客戶(hù)那里獲得一個(gè)芯片生產(chǎn)訂單開(kāi)始算起，需要在60天內為該客戶(hù)生產(chǎn)完所有硅片，這些硅片經(jīng)過(guò)封裝和測試等環(huán)節后，大約又需耗時(shí)一個(gè)月。

不過(guò)，如果這家芯片代工廠(chǎng)采用EUV光刻技術(shù)，所用生產(chǎn)時(shí)長(cháng)將會(huì )大幅縮短，并且產(chǎn)品良率也會(huì )提高很多。EUV最大的優(yōu)點(diǎn)就是20多天即可出廠(chǎng)，而用其他工藝則要80多天。

所以說(shuō)，大規模量產(chǎn)必須要用到EUV。而且，沒(méi)有EUV光刻機，大陸晶圓代工廠(chǎng)在7納米之戰中毫無(wú)勝算！