您知道什么是AMC嗎?其實(shí)AMC是氣體性分子污染物(Airborne Molecular Contamination)的縮寫(xiě)，主要被SEMI定義有四大子項目：MA(酸蒸氣)、MB(鹼蒸氣)、MC(凝結物質(zhì))及MD(摻雜物質(zhì))，來(lái)源可能是無(wú)塵室外的汽車(chē)排氣、大氣臭氧、工廠(chǎng)排放等，或是潔凈室內的化學(xué)溶劑揮發(fā)、蝕刻酸氣、塑料制品溢散等，由于來(lái)源非常廣泛，污染物項目族繁多元，因此如何有效控制逐漸成為相關(guān)業(yè)者相當困擾的一大難題。

一、為何現在大家開(kāi)始重視AMC？ 

(1)AMC對半導體制程良率的影響，其實(shí)相關(guān)業(yè)者很早就已開(kāi)始進(jìn)行防范，但過(guò)去僅針對于大顆粒物質(zhì)；但隨著(zhù)制程愈來(lái)愈精細，預防的標準也愈形嚴格，并在28奈米制程時(shí)達到檢測要求的高峰。不僅在體積大小較過(guò)去嚴苛，AMC檢測的項目也從過(guò)去單純的酸鹼物質(zhì)，漸漸擴增到有機物質(zhì)，而有機物的物種的監測也從過(guò)去半導體重視的十多種，漸漸擴增到新的未知有機物物種。 

(2)為何要投入未知物質(zhì)的偵測？原因在于半導體制程分有很多階段，每段都有不同的化學(xué)物質(zhì)投入，因此當我們要判斷污染來(lái)源時(shí)，我們除了要判斷當下制程的污染外，也要了解前段制程是否殘留有污染，或操作人員當下是否有造成其他來(lái)源的污染，唯有每段精確的掌握狀況，才可能真的杜絕污染源繼續發(fā)展。 

二、產(chǎn)業(yè)如何因應AMC問(wèn)題？ 

 (1)半導體業(yè)者為了與其他競爭者拉出領(lǐng)先差異，對于A(yíng)MC的全面性檢測標準要求日益嚴格。目前臺灣知名半導體大廠(chǎng)也已導入這樣的自動(dòng)監控設備，因為所有業(yè)者都了解，透過(guò)良率的提升，將是維持競爭優(yōu)勢的最大命脈。 

 (2)光電產(chǎn)業(yè)部分，OLED的前端LTPS制程也開(kāi)始重視AMC的偵測控制。這塊制程在電性控制上非常重要，因此AMC的偵測也相形重要。臺灣某大面板廠(chǎng)目前也已導入自動(dòng)監控設備，以求良率的提升。 

面板產(chǎn)業(yè)常用的曝光機制程、表層涂布制程，對于A(yíng)MC干擾都會(huì )有相當敏感的反應，因此更需對AMC作更精密的控制。AMC的產(chǎn)生會(huì )讓曝光機的鏡頭產(chǎn)生化學(xué)反應，進(jìn)而在光學(xué)鏡頭上產(chǎn)生化合物的附著(zhù)，而這樣的狀況就會(huì )產(chǎn)生制程上的異常點(diǎn)。(光影污染) 

三、奇鼎在A(yíng)MC監測上有何優(yōu)勢技術(shù)？ 

奇鼎科技在A(yíng)MC檢測上擁有領(lǐng)先業(yè)界的優(yōu)勢技術(shù)，業(yè)已與諸多半導體廠(chǎng)商進(jìn)行先進(jìn)制程上的合作，其主要特出效能如下說(shuō)明。 

 (1)奇鼎透過(guò)和某大半導體廠(chǎng)商在 28奈米制程上的合作，將過(guò)去繁瑣的現場(chǎng)取樣，動(dòng)輒花費半天、一天甚至二天的單點(diǎn)的污染源偵測，直接變成將偵測儀器建置客戶(hù)端FAB內，自動(dòng)化進(jìn)行偵測分析的模式。偵測時(shí)間不但可縮減至幾近即時(shí)的5分鐘，取樣點(diǎn)也從單點(diǎn)變成40個(gè)取樣點(diǎn)，取樣距離更可達200米，單機即可涵括整個(gè)FAB的范圍，各項數據都足證奇鼎在IN-LINE偵測解析上的先進(jìn)技術(shù)是遠遠領(lǐng)先同業(yè)。 

(2)奇鼎的IN-LINE取樣可以在5分鐘內解析出800種AMC物種，除了半導體業(yè)界已知會(huì )影響良率的400～500種常見(jiàn)物種外，也會(huì )同步解析出過(guò)去未知的物種；使用者可透過(guò)良率的時(shí)間軸跟抽樣物種的時(shí)間軸進(jìn)行比對， 進(jìn)而了解哪些物種將可能造成良率的重大影響，即可在未來(lái)的制程運作中主動(dòng)進(jìn)行該項AMC物種的預防(包含已知物種和未知物種)。 

因應各項制程日益精密的趨勢，微型化奈米時(shí)代的來(lái)臨，部分產(chǎn)業(yè)過(guò)去可接受較寬的污染物容忍值，將肯定會(huì )快速進(jìn)入極嚴格控制的時(shí)代。奇鼎科技提供的AMC偵測解析解決方案，將可協(xié)助相關(guān)業(yè)者進(jìn)行即時(shí)、系統化、高涵蓋度的監控，并獲取可作后續比對的關(guān)鍵數據，進(jìn)而透過(guò)杜絕關(guān)鍵性微污染物而達到良率提升的目的。